開(kāi)啟式真空管式爐技術參數

石英管(guǎn)尺(chǐ)寸

L1400mm  *（根據需(xū)求選擇不同(tóng)直(zhí)徑(jìng)的石(shí)英管作為(wéi)反應(yīng)室(shì)
。有Φ40
，Φ60
，Φ80
，Φ100
，Φ120
，Φ150等(děng)規(guī)格可選
。）

加熱元件

摻鉬鐵(tiě)鉻(gè)鋁(lǚ)合金(jīn)電(diàn)阻絲

測溫元件

K型(xíng)熱電(diàn)偶

加(jiā)熱區(qū)長(cháng)度

400mm  

恒溫(wēn)區(qū)長度(dù)

200mm

工作溫(wēn)度

≤1100℃

控(kòng)溫模式

模糊PID控(kòng)製(zhì)和自整(zhěng)定(dìng)調(tiáo)節
，智能(néng)化30段(duàn)可(kě)編程控製
，具(jù)有(yǒu)超溫(wēn)和斷(duàn)偶(ǒu)報警功(gōng)能

控(kòng)溫(wēn)精度

±1℃

升(shēng)溫速率

≤20℃/min

電功(gōng)率

AC220V/50HZ/3KW

質量(liáng)供(gōng)氣(qì)係(xì)統技術參(cān)數（根據需求(qiú)選擇(zé)多路質子流(liú)量供氣(qì)係(xì)統(tǒng)
。有兩(liǎng)路(lù)GQ-2Z
，三(sān)路(lù)GQ-2Z
，四(sì)路GQ-2Z
，五路GQ-2Z或更多路供選擇
。）

外形(xíng)尺(chǐ)寸

600x600x600mm

標準量(liáng)程

50sccm（CH4）
，200sccm（H2）
，500sccm（Ar
，N2）；

數顯(xiǎn)壓力表(biǎo)測量範(fàn)圍

-0.1Mpa～0.15Mpa

極(jí)限壓(yā)力

3MPa

針閥(fá)

316不鏽(xiù)鋼

截止閥(fá)

Φ6mm 316不鏽鋼(gāng)針(zhēn)閥

電功率

AC220V/50HZ/20W

響應時間

氣(qì)特性：1～4 Sec
，電(diàn)特(tè)性：10 Sec

準確度

±1.5%

綫性

±0.5～1.5%

重復精(jīng)度

±0.2%

接口(kǒu)

Φ6,1/4''

真(zhēn)空係統(tǒng)技術參(cān)數（根據需求(qiú)選擇不同(tóng)真(zhēn)空效果的(dí)真(zhēn)空(kōng)係(xì)統(tǒng)
。有(yǒu)DZK10-1（極限真空0.1Pa）
，GZK10-3（極限真(zhēn)空0.001Pa）
，以及(jí)進口(kǒu)高(gāo)真(zhēn)空(kōng)機組(zǔ)（極(jí)限真空(kōng)0.0001Pa）供選擇
。）

外(wài)型尺寸

600×600×600mm

工作電電壓(yā)

220V±10%  50~60HZ

功率

400W

抽氣速率(shuài)

4Ls

極(jí)限(xiàn)真(zhēn)空(kōng)

4X10-2Pa

實驗真空度(dù)

1.0X10-1Pa

容油量

1.1L

進(jìn)氣(qì)口口徑

KF25

排氣(qì)口口徑(jìng)

KF25

轉速

1450rpm

射頻(pín)電(diàn)源(yuán)（根(gēn)據(jù)需(xū)求(qiú)選(xuǎn)擇(zé)強度不同的(dí)射頻電源
。有DLZ300（300W）
，DLZ500（500W）或(huò)更大功(gōng)率(shuài)的射(shè)頻(pín)電(diàn)源供(gōng)選擇）

信號頻率(shuài)

13.56 MHz±0.005%

功率輸(shū)出範(fàn)圍

5-300W   5W-500W可(kě)選(xuǎn)

最大(dà)反射功率

200W

射(shè)頻輸出接口(kǒu)

50 Ω, N-type, female

功(gōng)率穩定度(dù)

±0.1%

諧波(bō)分量

≤-50dbc

供(gōng)電電壓(yā)

單相交(jiāo)流(liú)（187V-253V） 頻(pín)率50/60HZ

整機(jī)效(xiào)率

>=70%

功(gōng)率因素

>=90%

冷(lěng)卻(què)方式

強製風冷

等(děng)離子(zǐ)增強(qiáng)化學(xué)氣相(xiāng)沉(chén)積(jī)係統(tǒng)

常(cháng)見(jiàn)PECVD係統組合

   1. 1200度60滑軌式(shì)微型管(guǎn)式爐(lú)
，低(dī)真(zhēn)空(kōng)係統
，四(sì)路質(zhì)子(zǐ)流(liú)量供(gōng)氣(qì)係統(tǒng)
，300W射頻(pín)電源

    TF1200-60S-SL
，DZK10-1
，GQ-4Z
，DLZ300

   2. 1200度60滑軌式管(guǎn)式(shì)爐
，低真空(kōng)係(xì)統(tǒng)
，四(sì)路(lù)質子(zǐ)流(liú)量供氣係(xì)統(tǒng)
，500W射(shè)頻電源(yuán)

    TF1200-60-SL
，DZK10-1
，GQ-4Z
，DLZ500

   3. 1200度(dù)60雙溫區滑軌(guǐ)式管式爐
，低(dī)真空係統
，四(sì)路(lù)質子(zǐ)流(liú)量供氣係統
，500W射(shè)頻(pín)電(diàn)源

    TF1200-60II-SL
，DZK10-1
，GQ-4Z
，DLZ500

   4. 1200度60三溫區(qū)滑(huá)軌式(shì)管(guǎn)式爐
，低真空係統(tǒng)
，四路(lù)質子流量供(gōng)氣(qì)係統
，500W射(shè)頻電源

    TF1200-60III-SL
，DZK10-1
，GQ-4Z
，DLZ500

   5. 1200度60微(wēi)型(xíng)預(yù)熱爐
，1200度60滑(huá)軌(guǐ)式管(guǎn)式(shì)爐(lú)
，低(dī)真(zhēn)空(kōng)係統(tǒng)
，四路(lù)質(zhì)子流量供氣(qì)係統
，500W射(shè)頻電源(yuán)

    TF1200-60S
，MXG1200-60-SL
，DZK10-1
，GQ-4Z
，DLZ500

上(shàng)海交通大學(xué)

上海(hǎi)理(lǐ)工(gōng)大(dà)學

華(huá)東(dōng)師範大學

上海海洋(yáng)大(dà)學(xué)

同濟大學

上海電力(lì)大(dà)學

上(shàng)海(hǎi)工程技術大學(xué)

華(huá)東(dōng)理(lǐ)工大學

清華(huá)大學

復(fù)旦大(dà)學(xué)

重(zhòng)慶大學(xué)

貴州大學(xué)

濟南大學

青(qīng)島(dǎo)大學

吉(jí)林大學(xué)

香港大學

江(jiāng)南大(dà)學

湖北大(dà)學

北京科(kē)技(jì)大學

廣(guǎng)西(xī)師範大學

華(huá)南師範大學(xué)

山東理工大學

華南農業大學

河南農業大學

沈(shěn)陽航天(tiān)航空大學

哈(hā)爾(ěr)濱工(gōng)業大(dà)學(xué)

湘潭大學

贛(gàn)南(nán)師(shī)範學院

四(sì)川大(dà)學(xué)

華(huá)僑大(dà)學

蘇(sū)州(zhōu)大學

安(ān)徽醫科大學

浙江大學

南京(jīng)理(lǐ)工(gōng)大學

西北(běi)工業(yè)大(dà)學

西(xī)安交通大(dà)學

蘭州大(dà)學(xué)

廣(guǎng)東工業(yè)大學(xué)

暨南大學

中(zhōng)國地質(zhì)大(dà)學

湖南(nán)農(nóng)業大(dà)學(xué)

湖北理工學(xué)院

太原(yuán)理(lǐ)工大學

黃(huáng)淮學院(yuàn)

北(běi)京(jīng)大學

中(zhōng)國石油大學（北京(jīng)）

天(tiān)津理工(gōng)大學(xué)

中山(shān)大學

樂山師範學院

雲南大(dà)學

四(sì)川理(lǐ)工(gōng)大學(xué)

沈陽航空航天(tiān)大學(xué)

西安(ān)航天165所(suǒ)

中科院生(shēng)態環(huán)境所

中科院金(jīn)屬(shǔ)研(yán)究(jiū)所

中電科技集(jí)團13所

紹興(xīng)技術監(jiān)督檢測院

錫(xī)礦(kuàng)山閃星銻業

四川新材(cái)料研究中心

中電科技(jì)集團(tuán)49所

中國建築科院(yuàn)研究院

重慶(qìng)鋼鐵研究所

上(shàng)海(hǎi)應(yīng)用物理所

長(cháng)春應(yīng)用化學研(yán)究所(suǒ)

山西煤(méi)炭化學研究(jiū)所

航(háng)天(tiān)推進技術(shù)研究所(suǒ)

上海矽酸鹽(yán)研究所

廣州能(néng)源研究所(suǒ)

四川材(cái)料與工藝研(yán)究所

北(běi)方塗(tú)料工業研究設(shè)計(jì)院(yuàn)有(yǒu)限公司

江(jiāng)西(xī)吉陽(yáng)集團(tuán)

內(nèi)蒙古天(tiān)宇(yǔ)集團

佳英特能源材(cái)料公司

北京(jīng)東旭(xù)集團

新疆(jiāng)慶(qìng)華(huá)能(néng)源集團

山東通(tōng)用(yòng)光伏能(néng)源(yuán)有(yǒu)限(xiàn)公(gōng)司(sī)

青(qīng)島韓亞(yà)重工(gōng)

安(ān)徽(huī)天康集團

河北(běi)神(shén)通(tōng)光電科技有限(xiàn)公司

日(rì)照華軒(xuān)新能源有限公司(sī)

清(qīng)美通達鋰能科(kē)技(jì)有限(xiàn)公司(sī)

成(chéng)都(dū)登特牙(yá)科技(jì)術開發(fā)有(yǒu)限公(gōng)司

常州(zhōu)樂(lè)奧醫(yī)療科(kē)技有限公司(sī)

邦迪(dí)管路係(xì)統(tǒng)（上海）有(yǒu)限(xiàn)公司

溫(wēn)州(zhōu)天球電(diàn)器(qì)有限公司

凱銳眾成(chéng)金剛石工(gōng)具(jù)有(yǒu)限(xiàn)公司

中聯科偉(wěi)達技(jì)術(shù)股份有(yǒu)限公(gōng)司

三(sān)鑫(xīn)重(zhòng)工(gōng)機械(xiè)設備(bèi)有限公(gōng)司

遼寧(níng)錦(jǐn)州金屬(shǔ)有(yǒu)限公(gōng)司

青(qīng)海(hǎi)新(xīn)型(xíng)建材(cái)工貿有限公(gōng)司(sī)

惠州(zhōu)拓(tuò)普(pǔ)金屬材(cái)料(liào)有(yǒu)限公(gōng)司

AEM科(kē)技（蘇州）有(yǒu)限公司

深圳雙德(dé)先進(jìn)陶瓷有限(xiàn)公(gōng)司(sī)

唐山華(huá)運(yùn)鐵路(lù)交(jiāo)通器材(cái)有(yǒu)限公(gōng)司(sī)

上海合全(quán)藥業股份有(yǒu)限公(gōng)司(sī)

東莞大洲(zhōu)電子(zǐ)材(cái)料有限(xiàn)公(gōng)司(sī)

慈溪大(dà)旗機械科(kē)技有限公(gōng)司(sī)

蘇州邁眾注塑係統有(yǒu)限(xiàn)公(gōng)司

東莞(guān)邁科科技(jì)有限公司

蘇(sū)州(zhōu)大洋(yáng)精鍛(duàn)有(yǒu)限公司(sī)

天(tiān)津索克(kè)汽車(chē)試(shì)驗有限公(gōng)司

蘇州太智機(jī)電(diàn)有限(xiàn)公司(sī)

上海(hǎi)鐵(tiě)高(gāo)國際貿(mào)易(yì)有限公司(sī)

黃石(shí)滬士電(diàn)子有(yǒu)限公(gōng)司(sī)

株(zhū)洲冶(yě)煉(liàn)集(jí)團股份(fèn)有限(xiàn)公(gōng)司

貴州皓(hào)天光電科技(jì)有限公司

哈(hā)爾濱亞源電(diàn)力有限(xiàn)公司(sī)

馬爾精密(mì)量儀（蘇(sū)州）有限公(gōng)司(sī)

湖南元(yuán)素密碼烯高科技有限公(gōng)司(sī)

中山翔(xiáng)江精密光學有限公(gōng)司

天通控股(gǔ)股份有限公司(sī)

上海超(chāo)矽(guī)半(bàn)導體有(yǒu)限公(gōng)司

蘇州海鉑(bó)晶(jīng)體有限(xiàn)公(gōng)司

晶能(néng)光(guāng)電（江西(xī)）有限(xiàn)公司

唐山晶源(yuán)電子(zǐ)有(yǒu)限(xiàn)公(gōng)司

青島嘉星(xīng)晶電科技有限(xiàn)公司(sī)

常州(zhōu)好利(lì)來光電科技有限公司

三(sān)安光(guāng)電股份(fèn)有限(xiàn)公司